WS-3000
4探針法による半導体プロセス評価用自動薄膜シート抵抗測定システム
製品の特長・機能
4種類のプローブヘッドが装着できるプローブチェンジャー機構のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要
- デュアルモードにより、エッジ１mmまで高精度に測定
- 高速測定による優れたコストメリット
- 薄膜3nmの測定実績 FOUPロードポート、GEM/SECS対応
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
12インチ（オプション；200ｍｍ兼用）
測定レンジ
［シート抵抗］1m～10MΩ/sq
製品サイズ
約W1500×D700×H1850mm
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
フルオート（全自動測定システム）その他の製品
製品情報
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の関連製品
取扱い製品
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ウエハーフラットネス測定システム
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。