RT-3000/RG-2000AL(RG-3000AL)
4探針法によるカセットステーション搭載式の抵抗率、シート抵抗測定システム
製品の特長・機能
世界一の抵抗測定レンジを持った4探針法測定器
測定パターンプログラマブル、円型・角型測定対応マッピングソフトウェア
- セルフテスト機能、厚さ・周辺位置・温度補正機能（シリコン用）
- カセットステーションを1ヶ搭載し、作業効率化（測定後同一スロットへ収納）
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル
- シリコン系薄膜（LTPSなど）、IGZO
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
6，8インチ（または12インチ）
測定レンジ
①RT-3000(S)；
［抵抗率（比抵抗）］100μ～1MΩ・cm
［シート抵抗］1m～10MΩ/sq
②RT-3000(H)；
［シート抵抗］10m～1GΩ/sq
製品サイズ
約W1,010×D 850×H 550mm
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
フルオート（全自動測定システム）その他の製品
製品情報
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取扱い製品
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。