FLA-200
ウエハーフラットネス測定システム
製品の特長・機能
非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。 ウエハーサンプルのフラットネス（TTV, BOW, WARP）、厚さを測定します。
- 厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネスを測定に対応（ASTM準拠）
- 2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア
- CSVファイルでのデータ出力可能
- 5㎜φコア静電容量式プローブによる、高精度測定
- 12,000点スキャン/60秒以内の高速測定
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
対象のサイズ
3～8インチ
測定レンジ
Thickness: 200 –1,200μm
Bow : +/-350μm
Warp: 350μm
製品情報
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ウエハーフラットネス測定システム
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。