4探針法 抵抗率、シート抵抗測定器用プローブヘッド
製品の特長・機能
ナプソン製4探針測定システムには、カートリッジタイプ（*一部Jandelオリジナルタイプ）を使用しております。また、他社装置用の6ピンコネクタタイプ、スモールモジュールタイプもご用意しております。
（1）カートリッジタイプ（ナプソンオリジナル）［製品イメージ 1枚目］
（2）Jandelオリジナルタイプ［製品イメージ 2枚目］
Jandel製プローブヘッドは、高い精度が要求される半導体およびメタル薄膜などの 抵抗率・シート抵抗測定に最も適しており、長年にわたり、高い評価を得ております。
- ※V字型バネを採用しているため、針圧が常に安定しています。
- ※探針の保持にジュエルガイドが上部と下部の両方に使用されているため、針間精度および安定性に優れています。
- ※軸と先端が一体化されており、先端チップの破損が少なく耐久性に優れています。
測定仕様
測定する試料の材質、表面状態、形状によりタイプを選択します。
推奨参考例
| 対象試料 | プローブヘッド （材質・先端半径） |
針圧／本 |
|---|---|---|
| シリコンインゴット・ブロック | TC-40u | 200g |
| シリコンスライス | TC-40u | 200g |
| エビタキシャル層 | TC-150u | 100g |
| 薄いエピタキシャル層 | TC-150u, 500u | 50g |
| シャロー拡散等の薄い層 | OS-200u, 500u | 50g |
| 拡散層 | OS-200u, TC-150u | 100g |
| イオンインプラ | TC-150u | 50g, 100g |
| 金属薄膜 | TC-150u, 500u | 25g, 50g, 100g |
| ITO膜 | TC-150u, 500u | 25g, 50g, 100g |
※上記以外の試料でも測定可能です（導電可能なもの）。お問い合わせ下さい。
- ※その他タイプも準備しております。
- ※特殊仕様品もご相談に応じます。
（品番について）
＜例＞ TC-40μ-200g/1.00mm
- 針の材質：TC；タングステンカーバイド（OS；オスミウム合金）
- 針の先端半径：40μm（25μmから500μmまで可能）
- 針圧（g/本）：200g（10gから250gまで可能）
- 針間隔：1.00mm（0.5mmから1.59mmまで可能）
- 針配列：リニア（標準）（スクエア可能）
製品情報
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ウエハーフラットネス測定システム
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。