CRN-100
非接触(コロナ放電法)による超高抵抗レンジ対応シート抵抗測定器
製品の特長・機能
超高抵抗レンジ(10E+9~10E+15Ω/□)を非接触で測定可能
- 面内マルチポイント測定機能
- 2-D/3-Dマッピング画像表示
- 専用ソフトウェア
- 測定データはCSVファイル形式で出力可能
- 非接触式のため、接触抵抗の影響を受けずに測定可能
*コロナ放電法:特許番号5510629取得
山形大学より技術協力を頂き、ナプソンが開発した装置です。
動画解説
測定仕様
測定対象
- 超高抵抗薄膜サンプル(a-Si, IGZOなど)
- 絶縁に近い半導体材料
- 導電性ゴム
など
対象のサイズ
サイズ:Max. 300×400mm
厚さ:Max. 2mm
*サイズ対応など、ご要望のカスタマイズ対応が可能です。ご相談下さい。
測定レンジ
10E+9~10E+15Ω/□
非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
セミオート(多点測定システム)その他の製品
製品情報
非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の関連製品
取扱い製品
- 接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
- 非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
- ウエハーフラットネス測定システム
- ライフタイム測定器
- 2探針法の拡がり抵抗測定器
- PN判定器
- 4探針プローブヘッド
- 抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。